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    干式真空泵的應用范圍

    點擊次數:   更新時間:18/12/27 09:19:12     來源:www.benvolgut.com關閉分    享:
      干式真空泵應用范圍也越來越廣,在多個領域得到了廣泛應用,具體都應用在哪些領域呢?下面的文章為大家介紹一下。
      1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
      2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
      3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求;
      4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等;
      5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。
      干式真空泵因其良好的性能被廣泛應用在各個行業,同時也為真空行業注入了新的活力。

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